JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B.
AMER INST PHYSICS.
Том 14.
1996.
С. 471-473
JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B
Тип
Сборник материалов конференции
Издательство
AMER INST PHYSICS
Предметная область
Название конференции
3rd International Workshop on Advanced Plasma Tools - Sources, Process Control, and Diagnostics
Место проведения
SAN JOSE, CA
Дата начала
03.05.1995
Дата окончания
04.05.1995
Поделиться
Другие источники записей
ATOMIC AND QUANTUM OPTICS: HIGH-PRECISION MEASUREMENTS: ICONO '95
Сборник материалов конференции
ICONO 95 Conference - Atomic and Quantum Optics: High-Precision Measurements.
SPIE - INT SOC OPTICAL ENGINEERING.
1996.
MEZHDUNARODNAYA KNIGA / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук.