Лазерный спектрофотометр для диагностики следов H2O в вакуумных камерах генераторов низкотемпературной плазмы

Высокочувствительный анализ содержания нейтральных газовых компонент, включая пары Н2О, в высоковакуумных электротехнических установках, предназначенных для получения низкотемпературной плазмы, является актуальной аналитической и метрологической задачей. В настоящей статье представлен спектрофотометр на основе перестраиваемых диодных лазеров, предназначенный для анализа следов молекул Н2О в вакуумных камерах генераторов низкотемпературной плазмы, базирующихся на использовании ВЧ- и СВЧ-разрядов. Анализ проводился в спектральном диапазоне 7338–7370 см-1, где расположены колебательно-вращательные линии поглощения Н2О различной симметрии и интенсивности, в частности спиновых изомеров орто- и пара-Н2О. Для высокочувствительного анализа следов Н2О при низких давлениях использовано как детектирование собственно спектров пропускания, так и их производных. Оценена чувствительность к резонансному поглощению и концентрационная чувствительность при детектировании следов Н2О в разреженной газовой среде.