Для формирования азимутально-симметричного веерообразного потока микроволновой плазмы используются коаксиальный резонатор и два дискообразных постоянных магнита. Экспериментально установлено, что концентрация частиц в создаваемой плазме может превышать критическое значение. Результаты вычислительного эксперимента находятся в соответствии с результатами реального эксперимента и указывают на возможность создания на основе разработанного источника плазмы генератора мягкого рентгеновского излучения.
Coaxial vacuum cavity and two permanent disk magnets are used to form azimuthally symmetric flux of microwave plasma. It has been found experimentally that the density of plasma created in the device can exceed its critical value. The results of 3D plasma simulation and the experimental evidence point to the feasibility of designing a soft x-ray source on a basis of a developed source of microwave plasma.