Высокоэффективная рентгенофлуоресцентная спектрометрия материалов в условиях полного внешнего отражения потоков возбуждения, сформированных волноводно-резонансными устройствами

В работе дана характеристика особенностям метода рентгенофлуоресцентного анализа материалов в условиях полного внешнего отражения потока возбуждающей рентгеновской радиации на исследуемой поверхности (РФА ПВО). Сформулированы требования, предъявляемые к узлам РФА ПВО спектрометров и изучаемым объектам. Показано, что критическим параметром при РФА ПВО измерениях является радиационная плотность потока возбуждения. На основании полученных экспериментальных результатов сделан вывод, что максимум радиационной плотности в формируемых рентгеновских потоках достигается при использовании плоских рентгеновских волноводов-резонаторов. Обсуждаются экспериментальные данные, показывающие, что волноводно-резонансный режим распространения радиационного потока характерен для изучения МоКab в кварцевых плоских протяжённых щелевых зазорах шириной менее 110 нм. Дана характеристика степени повышения эффективности РФА ПВО измерений при использовании в качестве формирователей потоков возбуждения излучения MoKab рентгеновских волноводно-резонансных устройств. Кратко описана реализация РФА ПВО измерений в условиях ионно-пучкового возбуждения выхода характеристической рентгеновской флуоресценции.

High effective TXRF spectrometry with using waveguide-resonance structures

The paper describes the characteristics of X-ray fluorescence analysis of materials under conditions of total external reflection of the exciting X-ray radiation (TXRF) on the examined surface. The requirements for TXRF spectrometers and the objects under study are formulated. It is shown that the critical parameter during TXRF measurements is the radiation density of the exciting flux. Based on the experimental results, it was concluded that the maximum of the radiation density in the generated X-ray fluxes is achieved using planar X-ray waveguide-resonators. Experimental data show that the waveguide-resonant propagation mode of the MoKab radiation flux is distinctive for studying in quartz planar extended slot gaps with a width of less than 110 nm. Given characteristic increases the efficiency degree in the TXRF measurements when using X-ray waveguide-resonance devices as the formers of MoKab radiation excitation fluxes. The implementation of TXRF measurements under conditions of ion beam excitation of the characteristic X-ray fluorescence output is briefly described.