STUDY OF THE NUCLEATION AND GROWTH PROCESSES OF ZNO-BASED FUNCTIONAL LAYERS DURING PVD AND CVD METHODS Article Abduev A.Kh., Akhmedov A.K., Asvarov A.Sh., Belyaev V.V., Borisova A.S., Finagina I.A., Flyazhnikova L.S., Chasiluisa P.S.S., Muslimov A.E. Вакуумная техника, материалы и технология. Общество с ограниченной ответственностью "Электровакуумные технологии". 2020. P. 73-78
