ФОРМИРОВАНИЕ ТОНКИХ ПЛЕНОК КАРБИДА БОРА, ОБОГАЩЕННОГО ИЗОТОПОМ 10B, при низких температурах

Тонкопленочные конвертеры нейтронов на основе карбида бора B4C, обогащенного изотопом 10В, наносимые на подложки из алюминия, алюминиевой фольги и полимерных пленок большой площади, являются перспективным материалом для создания новых детекторов нейтронов. Нанесение пленок B4C методом магнетронного распыления на такие основания сильно осложняется необходимостью нагрева подложек до температуры 400 °С и более, что может приводить к их деформации. В работе показано, что применение ионного ассистирования в процессе магнетронного осаждения B4C приводит к формированию пленок нанокристаллической структуры, обладающих высокой прочностью и гибкостью, даже при понижении температуры подложки до 50 °С, а использование подслоя алюминия повышает адгезию. Получены тонкие пленки B4C на подложках из алюминия 0,5 × 100 × 100 мм2 и 0,5 × 280 × 400 мм2 в атмосфере аргона при температуре 400, 200 и 50 °С. Исследованы структура, состав и показатель преломления по пленкам на пластинах из кремния. Гибкость получаемых пленок и низкая температура формирования дают возможность нанесения конвертера нейтронов из 10B4C на тонкие полимерные основания.

Thin-film neutron converters based on boron carbide B4C, enriched with the 10B isotope, applied to thin substrates of aluminum, aluminum foil and polymer films of a large area, are a promising material for creating new neutron detectors. The application of B4C films by magnetron sputtering on such bases is greatly complicated by the need to heat the substrates to a temperature of 400 °C or more, which can lead to their deformation. It is shown that the use of ion assistance in the process of magnetron deposition of B4C leads to the possibility of forming films of nano-crystalline structure with high strength and flexibility, even when the temperature drops to 50 °C, and the use of an Al sublayer increases adhesion. B4C thin films were obtained on 0.5 × 100 × 100 mm2 and 0.5 × 280 × 400 mm2 aluminum substrates in an argon atmosphere at temperatures of 400, 200 and 50 °C. The structure, composition and refractive index of films on silicon wafers are studied. The flexibility of the resulting films and the low formation temperature make it possible to create neutron converters from 10B4C on thin polymer bases.

Authors
Колесников А.Г.1 , Крюков Ю.А.1 , Горбунов Н.В.2 , Абдуев А.Х. 3 , Асваров А.Ш.4 , Ахмедов А.К.4 , Куликов С.А.2 , Чураков А.В.2 , Шадрин А.В.5
Number of issue
5
Pages
290-299
Status
Published
Volume
15
Year
2022
Organizations
  • 1 Государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования Московской области "Университет "Дубна"
  • 2 Международная межправительственная научно-исследовательская организация Объединенный институт ядерных исследований
  • 3 Российский университет дружбы народов
  • 4 Дагестанский федеральный исследовательский центр РАН
  • 5 Московский физико-технический институт (Национальный исследовательский университет)
Keywords
magnetron deposition of films; boron carbide; film structure; thin-film neutron converter; neutron detector; магнетронная нанесение пленок; карбид бора; структура пленки; тонкопленочный конвертер нейтронов; нейтронный детектор
Date of creation
28.12.2023
Date of change
28.12.2023
Short link
https://repository.rudn.ru/en/records/article/record/96108/
Share

Other records

Бебнева Т.Н., Рябова В.А.
Акушерство и гинекология: новости, мнения, обучение. Общество с ограниченной ответственностью Издательская группа ГЭОТАР-Медиа. Vol. 10. 2022. P. 113-118
Kobelkova R.V., Korosteleva M.M., Kobelkova M.S.
Актуальные проблемы, современные тенденции развития физической культуры и спорта с учетом реализации национальных проектов. Российский экономический университет имени Г.В. Плеханова. 2022. P. 530-536