ИССЛЕДОВАНИЕ ЭФФЕКТИВНОСТИ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ АРХИТЕКТУР U-NET И CYCLEGAN В РАСЧЕТЕ ФОТОШАБЛОНА ДЛЯ ТЕХНОЛОГИИ 90-НМ МЕТОДОМ ОБРАТНОЙ ЛИТОГРАФИИ Статья Карандашев Я.М., Теплов Г.С. Математическое моделирование в материаловедении электронных компонентов. МММЭК-2023. ООО "МАКС Пресс". 2023. С. 70-72