Применение инфракрасной спектроскопической эллипсометрии в наноинженерии

Монография посвящена применению метода ИК-спектроскопической эллипсометрии для исследований и диагностики наноматериалов и наноразмерных многослойных гетероструктур. Плодотворность использования данного метода нанодиагностики обусловлена тем, что, с одной стороны, метод является неразрушающим, а с другой - высокоточным и чувствительным (точность определения толщин слоев гетероструктуры составляет доли нанометра). Этими обстоятельствами обусловлено широкое применение ИК-спектроскопической эллипсометрии в различных областях исследований: в микрои наноэлектронике, физике полупроводников и физике твердого тела, в оптике, электрохимии, химии полимеров, биологии, медицине и многих других, а также в области диагностики и контроля технологических процессов микрои нанотехнологий. В монографии приведены результаты исследований наноразмерных полупроводниковых, органических и металлоорганических гетероструктур, выполненных коллективом авторов методом ИК-спектроскопической эллипсометрии. Описаны принципы и методология проведения исследований на спектроскопических эллипсометрах. Для научных сотрудников научно-исследовательских институтов, преподавателей, аспирантов и студентов высших технических учебных заведений по направлениям подготовки «Нанотехнология», «Наноинженерия», «Нанотехнологии и микросистемная техника». Монография будет полезна всем, занимающимся вопросами исследований и диагностики наноматериалов и наноструктур и работающим в области нанотехнологий и наноинженерии.

Авторы
Макеев М.О. 1 , Мешков С.А.2 , Иванов Ю.А.2
Редакторы
-
Издательство
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Российский университет дружбы народов (РУДН)
Место публикации
-
Язык
Русский
Число страниц
-
Статус
Опубликовано
Подразделение
-
Ссылка
-
DOI
-
ISBN
9785209085751
Том
-
Год
2018
Организации
  • 1 Российский университет дружбы народов
  • 2 Московский государственный технический университет им. Н.Э. Баумана (национальный исследовательский университет)
Ключевые слова
-
Дата создания
07.11.2019
Дата изменения
07.11.2019
Постоянная ссылка
https://repository.rudn.ru/ru/records/monograph/record/54317/