ЭЦР-источник отрицательных ионов

В работе представлены результаты исследования возможности создания компактного ЭЦР- источника отрицательных ионов водорода. Установлено, что при прохождении потока молекулярного водорода через пространственно локализованное плазменное образование, создаваемое ЭЦР-разрядом, формируется поток колебательно возбужденных молекул, а в области диссоциативного прилипания электронов к колебательно возбужденным молекулам водорода формируется поток отрицательных ионов, величина тока которых зависит от величины расхода рабочего газа (водород) и концентрации электронов в этой области. При этом экспериментально полученные значения токов по порядку величины совпадают с результатами оценочного расчета. На основе полученных результатов делается вывод о возможность создания компактного ЭЦР-источника отрицательных ионов водорода.

ECR source of negative ions

The paper presents the results of a study of the possibility of creating a compact ECR source of negative hydrogen ions. It has been established that when a molecular hydrogen stream passes through a spatially localized plasma formation created by an ECR discharge, a flow of vibrationally excited molecules forms, and in the region of dissociative attachment of electrons to vibrationally excited hydrogen molecules, a flow of negative ions forms, the current value of which depends on the flow rate of the working gas (hydrogen) and electron concentration in this area. In this case, the experimentally obtained current values coincide in order of magnitude with the results of the estimated calculation.Based on the results obtained, it is concluded that it is possible to create a compact ECR source of negative hydrogen ions.