Многомодовый режим генерации плазмы СВЧ-разряда в открытой магнитной ловушке

Большинство параметров СВЧ-устройств, работающих на основе электронно-циклотронного резонанса (ЭЦР), определяются характеристиками создаваемой плазмы. Применение для поддержания разряда хорошо изученных одномодовых резонаторов во многих случаях оказывается недостаточно эффективным, т.к. условие одномодовости налагает жесткие ограничения на максимальные линейные размеры используемого резонатора при заданной частоте СВЧ-волн. Из-за этого в последние годы активно изучаются особенности поддержания разрядов при одновременном возбуждении нескольких мод колебаний. В данной работе исследуется СВЧ-разряд (2.45 ГГц) в многомодовом резонаторе, помещенном в зеркальную магнитную ловушку пробочного типа, в которой генерируется сильно неравновесная анизотропная низкотемпературная плазма. Показано, что структура электромагнитного поля в резонаторе изменяется с ростом давления плазмообразующего газа, что сопровождается изменением концентрации и температуры электронов.