Оптическая и рентгеновская спектрометрия ЭЦР-разряда низкого давления

Андреев В.В. ¹ , Корнеева М.А. ¹ , Новицкий А.А. ¹ , Умнов А.М. ¹ , Чупров Д.В. ¹

Общество с ограниченной ответственностью Издательский дом Московского физического общества

Приложение к журналу

Русский

П45

Опубликовано

кафедра экспериментальной физики УДН

1

17

2011