Time-resolved evolution of plasma parameters in a plasma immersion ion implantation source

Авторы
Moreno J. 1 , Khodaee A. 1 , Okerstrom D. 1 , Bradley M.P. 1 , Couëdel L. 1, 2
Журнал
Physics of Plasmas
Номер выпуска
12
Язык
Английский
Страницы
123523
Статус
Опубликовано
Том
28
Год
2021
Организации
  • 1 Department of Physics and Engineering Physics|University of Saskatchewan
  • 2 Aix-Marseille Université|CNRS|PIIM|UMR 7345|Centre Scientifique de Saint Jérôme|Case 241
Цитировать
ГОСТ MLA RIS BibTex
Поделиться

Другие записи

BIOMASS BURNING NITROGEN DIOXIDE EMISSIONS DERIVED FROM SPACE WITH TROPOMI: METHODOLOGY AND VALIDATION

Статья
Griffin D., McLinden C.A., Chen J., Hayden K., Mihele C., Wren S.N., Liggio J., Akingunola A., Makar P., Fehr L., Bourassa A., Degenstein D., Dammers E., Adams C., Stockwell C.E., Warneke C., Bourgeois I., Peischl J., Ryerson T.B., Rollins D., Rickly P.S., Rowe J.P., Volkamer R., Kille N., Koenig T.K., Zarzana K.J., Lee C.F., Knote C.
Atmospheric Measurement Techniques. Том 14. 2021. С. 7929-7957