Time-resolved evolution of plasma parameters in a plasma immersion ion implantation source

Griffin D., McLinden C.A., Chen J., Hayden K., Mihele C., Wren S.N., Liggio J., Akingunola A., Makar P., Fehr L., Bourassa A., Degenstein D., Dammers E., Adams C., Stockwell C.E., Warneke C., Bourgeois I., Peischl J., Ryerson T.B., Rollins D., Rickly P.S., Rowe J.P., Volkamer R., Kille N., Koenig T.K., Zarzana K.J., Lee C.F., Knote C.

Альберто Г.Э., Чурсин А.А., Кутахов В.П.