ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ЗАРОЖДЕНИЯ И РОСТА ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZnO ПРИ ФИЗИЧЕСКИХ И ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ МЕТОДАХ СИНТЕЗА

Исследованы и проанализированы процессы формирования функциональных слоев на основе ZnO в качестве компонентов систем отображения информации, солнечных преобразователей и иных приложений. Рассмотрены перспективы их практического использования в устройствах прозрачной (оксидной) электроники. Процессы формирования слоев методами магнетронного распыления рассмотрены в комплексе с характеристиками, составом, стехиометрией распыляемых керамических мишеней.

STUDY OF THE NUCLEATION AND GROWTH PROCESSES OF ZnO-BASED FUNCTIONAL LAYERS DURING PVD AND CVD METHODS

The formation of ZnO-based functional films as components of information display systems, solar cells and other applications are studied and analyzed. The prospects of their practical use in " transparent oxide electronics" are considered. The processes of ZnO thin film deposition by magnetron sputtering methods are considered in combination with the characteristics, composition, stoichiometry of sputtered ceramic targets.

Авторы
Абдуев А.Х. 1, 2 , Ахмедов А.К.1 , Асваров А.Ш.1 , Муслимов А.Э. , Беляев В.В. 2 , Борисова А.С. 2 , Финагина И.А. 2 , Фляжникова Л.С. 2 , Часилуиса П.С.С. 2
Сборник материалов конференции
Издательство
Общество с ограниченной ответственностью "Электровакуумные технологии"
Язык
Русский
Страницы
73-78
Статус
Опубликовано
Год
2020
Организации
  • 1 Институт физики Дагестанского федерального исследовательского центра РАН
  • 2 Российский университет дружбы народов
  • 3 ФНИЦ «Кристаллография и фотоника» РАН
  • 4 Московский государственный областной университет
Ключевые слова
ZnO; nucleation; coalescence; columnar structure; grain boundary; sintering; target; оксид цинка; зарождение; коалесценция; столбчатая структура; межзеренная граница; спекание; мишень
Цитировать
Поделиться

Другие записи

Кондратенко Р.О., Семенов С.В., Нестеров С.Б., Холопкин А.И., Терентьев Ю.А., Коледов В.В., Дроздов Б.В., Шавров В.Г., Малинецкий Г.Г., Осипов В.М., Точило В.В., Бражник П.С., Зименкова Т.А., Сысоев М.А., Лаврентьев А.И., Куренков П.В., Ясев С.Г., Самвелов А.В.
Вакуумная техника, материалы и технология. Общество с ограниченной ответственностью "Электровакуумные технологии". 2020. С. 293-301