МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ СтатьяЗахарова Т.И.Вестник Государственного университета просвещения. Серия: Физика-Математика. 2023. С. 33-42
СУЩЕСТВОВАНИЕ, АБСТРАКЦИИ И РЕФЕРЕНЦИЯ СтатьяЧерняк А.З.EPISTEMOLOGY & PHILOSOPHY OF SCIENCE-EPISTEMOLOGIYA I FILOSOFIYA NAUKI. Том 61. 2024. С. 105-120