МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ Статья Захарова Т.И. Вестник Государственного университета просвещения. Серия: Физика-Математика. Государственный университет просвещения. 2023. С. 33-42
СУЩЕСТВОВАНИЕ, АБСТРАКЦИИ И РЕФЕРЕНЦИЯ Статья Черняк А.З. EPISTEMOLOGY & PHILOSOPHY OF SCIENCE-EPISTEMOLOGIYA I FILOSOFIYA NAUKI. RUSSIAN ACAD SCIENCES-INST PHILOSOPHY. Том 61. 2024. С. 105-120