Влияние переходных слоев на дисперсионные характеристики пленочных оптических волноводов, полученных методом реактивного катодного распыления

Показано существование переходного слоя между пленкой и подложкой в планарных оптических волноводах, полученных методом реактивного катодного распыления. Оп­ределены глубина и вид профиля слоя. Спектр эффективных показателей преломления, измеренный экспериментально, не совпадает со спектром, предсказываемым теорией тонкопленочных волноводов. Выведены дисперсионные уравнения, учитывающие наличие переходного слоя и дающие спектр эффективных показателей преломления, совпадающий с экспериментальным.

AN EFFECT OF TRANSITION LAYERS ON DISPERSION CHARACTERISTICS OF FILM OPTICAL-WAVEGUIDES PRODUCED BY THE REACTIVE CATHODE SPUTTERING TECHNIQUE