Влияние переходных слоев на дисперсионные характеристики пленочных оптических волноводов, полученных методом реактивного катодного распыления

Показано существование переходного слоя между пленкой и подложкой в планарных оптических волноводах, полученных методом реактивного катодного распыления. Оп­ределены глубина и вид профиля слоя. Спектр эффективных показателей преломления, измеренный экспериментально, не совпадает со спектром, предсказываемым теорией тонкопленочных волноводов. Выведены дисперсионные уравнения, учитывающие наличие переходного слоя и дающие спектр эффективных показателей преломления, совпадающий с экспериментальным.

AN EFFECT OF TRANSITION LAYERS ON DISPERSION CHARACTERISTICS OF FILM OPTICAL-WAVEGUIDES PRODUCED BY THE REACTIVE CATHODE SPUTTERING TECHNIQUE

Авторы
Аникин В.И. , Горобец А.П. , Олевский С.С. , Половинкин А.Н.
Издательство
LEBEDEV PHYSICAL INST KVANTOVAYA ELEKTRONIKA JOURNAL / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук
Номер выпуска
12
Язык
Русский
Страницы
2631-2634
Статус
Опубликовано
Том
7
Год
1980
Организации
  • 1 Российский университет дружбы народов
Ключевые слова
краткие сообщения
Дата создания
19.10.2018
Дата изменения
10.03.2019
Постоянная ссылка
https://repository.rudn.ru/ru/records/article/record/10969/