ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ЗАРОЖДЕНИЯ И РОСТА ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZNO ПРИ ФИЗИЧЕСКИХ И ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ МЕТОДАХ СИНТЕЗА Статья Абдуев А.Х., Ахмедов А.К., Асваров А.Ш., Беляев В.В., Борисова А.С., Финагина И.А., Фляжникова Л.С., Часилуиса П.С.С., Муслимов А.Э. Вакуумная техника, материалы и технология. Общество с ограниченной ответственностью "Электровакуумные технологии". 2020. С. 73-78