ИССЛЕДОВАНИЯ ПРОЦЕССОВ ЗАРОЖДЕНИЯ И РОСТА ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ СЛОЕВ НА ОСНОВЕ ZNO ПРИ ФИЗИЧЕСКИХ И ГАЗОТРАНСПОРТНЫХ МЕТОДАХ СИНТЕЗА СтатьяАбдуев А.Х., Ахмедов А.К., Асваров А.Ш., Беляев В.В., Борисова А.С., Финагина И.А., Фляжникова Л.С., Часилуиса П.С.С., Муслимов А.Э.Вакуумная техника, материалы и технология. 2020. С. 73-78
