Расчетная оценка адсорбционно-десорбционного поведения продуктов пиролиза при получении GaAsxP1 –x в условиях МОС-гидридной эпитаксии

Методом расчета функционала электронной плотности определены потенциалы адсорбции и десорбции продуктов пиролиза с подложкой в процессе роста GaAsxP1– x/GaAs в условиях МОС-гидридной эпитаксии. На основании полученных данных произведена симуляция поведения продуктов пиролиза на поверхности роста с учетом адсорбции, десорбции и диффузии кинетическим методом Монте-Карло. Результаты расчетной оценки хорошо согласуются с экспериментальными данными. Представленный алгоритм расчета может быть использован для исследования адсорбционно-десорбционного поведения материалов других систем.

Authors
Максимов А.Д.1 , Давыдкин М.А.1 , Багаев Т.А. 2, 3 , Андреев А.Ю.2 , Яроцкая И.В.2 , Ладугин М.А.2 , Мармалюк А.А.2
Number of issue
4
Language
Russian
Pages
442-450
Status
Published
Volume
58
Year
2022
Organizations
  • 1 МИРЭА – Российский технологический университет
  • 2 АО “НИИ “Полюс” им. М.Ф. Стельмаха”
  • 3 Российский университет дружбы народов
Keywords
МОС-гидридная эпитаксия; GaAsP; теория функционала плотности; адсорбция; десорбция
Date of creation
06.07.2022
Date of change
06.07.2022
Short link
https://repository.rudn.ru/en/records/article/record/86095/
Share

Other records