Метод ступенчатого травления оптического волокна

Рассмотрен метод ступенчатого травления оптического волокна с использованием различных составов травителей на основе 40%-ной плавиковой кислоты (HF) и водных растворов фтористого аммония (NH4F). Определены составы, скорости травления, зависимости скорости травления от температуры и формы травления от состава. Показана перспективность использования метода ступенчатого травления оптического волокна в производстве приборов микроэлектроники.

Method for stepped etching of optical glass fibers

A method for stepped etching of optical glass fibers using various compositions of etching agents based on a 40% hydrofluoric acid (HF) and aqueous solutions of ammonium fluoride (NH4F) has been considered. Compositions, etching rates, the dependence of etching rate on temperature, and tyeh dependence of etching forms on composition have been determined. The potential use of the method for stepped etching of optical glass fibers in the manufacture of microelectronic devices has been demonstrated.