Восстановление характеристик и определение параметров статистической шероховатости поверхности по данным рассеяния света в интегральном волноводе при наличии шума

С помощью метода компьютерного моделирования получено решение прямой и обратной задач волноводного рассеяния лазерного излучения на статистической стационарной шероховатости поверхности подложки интегрального оптического волновода при наличии аддитивного или мультипликативного "белого" шума. Показано, что разработанная процедура обработки данных рассеяния в дальней зоне позволяет и при очень низком отношении сигнала к шуму (SNR ~ 1) получить необходимую информацию о статистических свойствах шероховатости. При уровне SNR > 1 разработанный метод позволяет в модельных расчетах восстановить автокорреляционную функцию при изменении интервала корреляции шероховатостей от л/50 до Юл для заданных аддитивного или мультипликативного шумов с ошибкой не более 50 и 80% соответственно. В этом случае интервал корреляции может быть определен с ошибкой не более 10-30%, а среднеквадратичная высота ~1500 А с ошибкой менее 5-15%.

Reconstruction of the Characteristics and Determination of the Parameters of a Statistical Surface Roughness from the Light Scattering Data in an Integrated Waveguide in the Presence of Noise