On nonlocal heating in inductively coupled plasmas

Van Deneede B., De Sutter P., Kyurkchiev S., Erb K., Gissler M., De Mouzon J., Felberbaum R., Tarlatzis B.C., Urbancsek J., Bjorgvinsson H., Harrison R., Ferraretti A.P., Kremer J.A.M., Hazehamp J.T., Kuczynski W., Calhaz-Jorge C., Korsak V.S., Virant-Klun I., Hernandez J., Karlstroem P.O., Limoni C., Baranowski R., Veselovsky V., Grunwald K.M., Neulen J., Rau R., Warnecke, Hiller K.F., Bauer T.H., Kraus H., Todorow S., Schwarz E., Struller D., Pfüller B., Jankte A., Schmiady H., Bloechle M., Marr S., Dakah M.Z.A., Kentenich H., Stief G., Tandler-Schneider A., Haase A., Temme D.H.G., Metzger R., Peet D.J., Sydow P., Sydow C., Hannen R., Scheiber I., Völklein K., Harms B., Van der Ven H.H., Prietl G., Schmidt E.H., Drost O., Von Stutterheim A., Clasing C., Riedel H.H., Leyendecker G., Dieterle A., Neuer A., Held H.J., Distler W., Keck G., Verhoeven H., Scholtes M., Behler M., Schulte M., Freundl G., Gnoth C., Bender H.G., Van Uem J., Bregulla K.G., Hamori M., Behrens R., Wildt L., Katzorke T., Propping D., Wohlers S., Costea J.E., Merz E., Amroni M., Schuh S., Keck C., Weitzell, Thiemann M., Geisthövel F., Czeromin U., Walter-Göbel I., Künzel W., Weidner W., Gips, Tobler M., Andersen A.N., Gianaroli L., Nygren K.G.

Fomina A.V.