МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ЭПИТАКСИАЛЬНОГО СЛОЯ КРЕМНИЯ ArticleЗахарова Т.И.Вестник Государственного университета просвещения. Серия: Физика-Математика. 2023. P.. 33-42
СУЩЕСТВОВАНИЕ, АБСТРАКЦИИ И РЕФЕРЕНЦИЯ ArticleЧерняк А.З.EPISTEMOLOGY & PHILOSOPHY OF SCIENCE-EPISTEMOLOGIYA I FILOSOFIYA NAUKI. Vol. 61. 2024. P.. 105-120