Влияние переходных слоев на дисперсионные характеристики пленочных оптических волноводов, полученных методом реактивного катодного распыления

Показано существование переходного слоя между пленкой и подложкой в планарных оптических волноводах, полученных методом реактивного катодного распыления. Оп­ределены глубина и вид профиля слоя. Спектр эффективных показателей преломления, измеренный экспериментально, не совпадает со спектром, предсказываемым теорией тонкопленочных волноводов. Выведены дисперсионные уравнения, учитывающие наличие переходного слоя и дающие спектр эффективных показателей преломления, совпадающий с экспериментальным.

AN EFFECT OF TRANSITION LAYERS ON DISPERSION CHARACTERISTICS OF FILM OPTICAL-WAVEGUIDES PRODUCED BY THE REACTIVE CATHODE SPUTTERING TECHNIQUE

Authors
ANIKIN V.I. , GOROBETS A.P. , OLEVSKII S.S. , POLOVINKIN A.N.
Publisher
LEBEDEV PHYSICAL INST KVANTOVAYA ELEKTRONIKA JOURNAL / Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физический институт им. П.Н. Лебедева Российской академии наук
Number of issue
12
Language
Russian
Pages
2631-2634
Status
Published
Volume
7
Year
1980
Organizations
  • 1 Peoples' Friendship University of Russia
Keywords
краткие сообщения
Date of creation
19.10.2018
Date of change
10.03.2019
Short link
https://repository.rudn.ru/en/records/article/record/10969/
Share

Other records