МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СУБМИКРОННЫХ ОБЪЕКТОВ

Приведен краткий обзор некоторых методов исследования субмикронных объектов. Основное внимание уделено неразрушающим методам оптического (лазерного) контроля микрообъектов.

METHODS OF INVESTIGATION OF SUBMICRON OBJECTS

A brief review of some methods of investigation of submicron objects is presented. The basic attention is being given to the non-destructive optical (laser's) methods of control of microobjects.

Download
Authors
Yegorov А.А. 1
Journal
Вестник Российского университета дружбы народов. Серия: Экология и безопасность жизнедеятельности
Publisher
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Российский университет дружбы народов (РУДН)
Number of issue
4
Language
Russian
Pages
118-122
Status
Published
Link
External link
Year
2000
Organizations
  • 1 Peoples’ Friendship University of Russia
Keywords
методы исследования; субмикронный объект; неразрушающие методы; оптический контроль; лазер
Date of creation
05.04.2024
Date of change
05.04.2024
Short link
https://repository.rudn.ru/en/records/article/record/106737/
Share

Other records