Metals.
MDPI AG.
Vol. 13.
2023.
1386 p.
МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЯ СУБМИКРОННЫХ ОБЪЕКТОВ
Приведен краткий обзор некоторых методов исследования субмикронных объектов. Основное внимание уделено неразрушающим методам оптического (лазерного) контроля микрообъектов.
METHODS OF INVESTIGATION OF SUBMICRON OBJECTS
A brief review of some methods of investigation of submicron objects is presented. The basic attention is being given to the non-destructive optical (laser's) methods of control of microobjects.
Authors
Journal
Publisher
Федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования Российский университет дружбы народов (РУДН)
Number of issue
4
Language
Russian
Pages
118-122
Status
Published
Link
Year
2000
Organizations
- 1 Peoples’ Friendship University of Russia
Keywords
методы исследования; субмикронный объект; неразрушающие методы; оптический контроль; лазер
Share
Other records
ACS Applied Materials and Interfaces.
American Chemical Society.
2023.