УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ МАЛЫХ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ

Устройство для измерения малых линейных перемещений содержит две фазовые дифракционные решетки, щуп, который вводится в контакт с исследуемым образцом. Также оно содержит систему просвечивания решеток лазерным пучком, состоящую из лазера с коллиматором луча, пространственного фильтра, фотодиода, и измеритель выходного напряжения. Кроме того, дифракционные решетки нанесены на двух противоположных параллельных сторонах прозрачного блока. Блок закреплен на оси, имеет степень свободы поворота относительно этой оси и связан со щупом так, что вектор перемещения, воздействующего на щуп, проходит на некотором расстоянии от оси вращения блока. Система просвечивания решеток установлена на отдельном поворотном основании, связанном с регулировочным механизмом. Технический результат - исключение угловой расстройки дифракционных решеток в процессе работы, достижение малого усилия на щупе при измерении линейного перемещения чувствительного узла датчика - блока решеток. 1 ил.