СПОСОБ ЛОКАЛИЗАЦИИ НЕОДНОРОДНОСТЕЙ МЕТАЛЛИЧЕСКОЙ ПОВЕРХНОСТИ В ИНФРАКРАСНОМ ИЗЛУЧЕНИИ

Изобретение относится к оптическим методам контроля качества поверхностей металлов и полупроводников. Способ включает воздействие на поверхность зондирующим излучением, для которого металл имеет отрицательную действительную часть диэлектрической проницаемости, преобразование излучения в набор пучков поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ), направляемых поверхностью, освещение контролируемого участка поверхности этими пучками, регистрацию пучков совокупностью приемников пучков и обработку результатов измерений. Преобразование излучения в ПЭВ завершают на прямой линии, перпендикулярной плоскости падения. Пучки формируют параллельными и примыкающими друг к другу. Освещение участка пучками производят поочередно с двух противоположных направлений, а регистрацию пучков осуществляют над участком в ряде плоскостей, перпендикулярных трекам ПЭВ, путем измерения распределения интенсивности поля ПЭВ в окружающей среде, фиксируя в моменты регистрации расстояние, пробегаемое ПЭВ, и координаты приемников в плоскости регистрации. Изобретение обеспечивает повышение точности локализации неоднородностей металлизированной поверхности. 2 ил.