СПОСОБ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДОГО ТЕЛА

Изобретение относится к контролю качества поверхности оптическими методами и может найти применение в оптическом приборостроении, например, для контроля качества подготовки поверхностей подложек интегрально-оптических устройств, лазерных зеркал и т.д. Сущность изобретения заключается в том, что в способе исследования поверхности твердого тела, включающем формирование на исследуемой плоской поверхности образца из поверхностно-активного материала однородного слоя связи толщиной меньше глубины проникновения поля поверхностных электромагнитных волн (ПЭВ), генерируемых на границе слой связи - образец, в материал слоя, и регистрацию пространственного распределения интенсивности p-составляющей излучения, выходящего с поверхности слой связи - окружающая среда, регистрируют излучение ПЭВ, генерируемых тепловыми колебаниями атомов приповерхностного слоя образца, одновременно в нескольких пучках монохроматического излучения с различными частотами, выходящих с поверхности слой связи - окружающая среда под углами, рассчитанными по формуле где i - номер пучка; и ni - действительная часть эффективного показателя преломления ПЭВ и абсолютный показатель преломления окружающей среды на данной частоте соответственно. Изобретение позволяет получать более корректную, не искаженную зондирующим излучением информацию о поверхности образца. Кроме того, регистрация излучения в i пучках делает возможной одновременную визуализацию разновеликих неоднородностей и выбор контраста их изображения. 2 ил.