Использование: изобретение относится к области контроля качества поверхностей материалов оптическими методами. Сущность изобретения заключается в том, что в способе исследования полупрозрачного образца методом ПЭВ-микроскопии, включающем нанесение полупрозрачного образца из поверхностно-активного материала на основание твердотельной призмы с показателем преломления больше показателя преломления окружающей среды, возбуждение ПЭВ на границе раздела "образец - окружающая среда" сколлимированным монохроматическим p-поляризованным излучением внешнего источника, направленным на основание призмы, и регистрацию пространственного распределения интенсивности отраженного излучения фотоприемным устройством, на основание призмы воздействуют набором сколлимированных пучков монохроматического излучения с различными длинами волн ?o под углами падения, равными соответствующим углам возбуждения ПЭВ на данных ?o, а регистрацию пространственного распределения интенсивности отраженного излучения выполняют во всех пучках одновременно для выбора необходимого контраста изображения образца. 1 ил.