Исследование микроволнового разряда в магнитном поле как источника низкотемпературной плазмы для полупроводниковой технологии

Авторы
Кампс Карвахаль Эдгар Энрике1
Ученая степень
Канд. физ.-мат. наук
Специальность
01.04.03 Органическая химия
Место защиты
Москва
Язык
Русский
Число страниц
129
Год
1988
Организации
  • 1 РУДН
Цитировать
Поделиться

Другие диссертации