Синтез многослойных структур на основе оксида цинка с периодической пространственной локализацией донорной примеси

Цель. Изучение процессов формирования, электрических и оптических свойств многослойных тонкопленочных периодических структур на основе чередующихся слоев нелегированного и легированного алюминием оксида цинка в зависимости от толщины единичных слоев и температуры синтеза.Процедура и методы. Синтез периодических структур выполнен в едином вакуумном цикле путем последовательного осаждения слоев из двух магнетронных источников. Проведено сравнительное исследование структуры и функциональных свойств одиночных слоев нелегированного и легированного алюминием оксида цинка, а также многослойных структур на их основе с использованием методов рентгеновской дифракции, растровой электронной микроскопии, оптической спектроскопии.Результаты. Установлены механизмы трансформации многослойных тонкопленочных структур n×(AZO/ZnO) с изменением толщины элементарных слоев и температур синтеза.

Aim. We study the growth processes and electrical and optical properties of periodic multilayer structures based on alternating layers of undoped and Al-doped zinc oxide as functions of the thickness of single layers and synthesis temperature.Methodology. Periodic multilayer structures are deposited in a single vacuum cycle by sequential deposition of undoped and Al-doped ZnO layers from two magnetron sources. A comparative study of the structure and functional properties of single layers of undoped and Al-doped ZnO, as well as multilayer structures based on them, is performed using XRD, SEM, and optical spectroscopy.Results. The structural transformation in n×(AZO/ZnO) multilayers are studied depending on the thickness and number of elementary layers, as well as on the synthesis temperature.Research implications. The obtained results show ways to produce alternative transparent electrodes based on n×(AZO/ZnO) multilayer structures for new generation transparent electronic devices.