Пространственное распределение частиц плазмы, формируемой ЭЦР-разрядом в узком коаксиальном резонаторе

В работе представлены результаты вычислительного эксперимента. На основе адаптированной под конкретную конфигурацию источника плазмы (CERA-RI-2) программы проведены расчеты и определены зависимости пространственного распределения ионной и электронной компонент от концентрации частиц в области ЭЦР, а также энергетических спектров ионной компонент плазмы и величины тока от потенциала на сетке их экстракции. В дальнейшем разработанная методика может быть применена для определения характера влияния дополнительного сетчатого электрода в инжекторе плазмы CERA-RI-2 для улучшения его характеристик.

Spatial distribution of plasma particles formed by an ECR discharge in a narrow coaxial resonator

The presents the results of a computational experiment. On the basis adapted to a specific configuration of the plasma source (CERA-RI-2) programs the calculations and the dependence of the spatial distribution of ionic and electronic component from the concentration of particles in the field of ECR and the energy spectra of the ion component of the plasma and the amount of current from the potential on the grid of their extraction. In the future, the developed technique can be applied to determine the nature of the influence of an additional mesh electrode in the CERA-RI-2 plasma injector to improve its characteristics.