Светодиодный холоэллипсометр с бинарной модуляцией поляризации рассеяния света одноосным двумерным кристаллом

Представлен холоэллипсометр почти нормального рассеяния света оптически одно-осным кристаллом с использованием бинарной модуляции поляризации света. Он актуален для топометрических систем, широко используемых в нанотехнологиях и медицине. Получены основные уравнения холоэллипсометрии нормального рассеяния света.

Light-Diode Holoellipsometer with Binary Modulation of Polarization Employing Light Scattering from Uniaxial Bi-Dimension Crystal

A holoellipsometer with binary modulation of polarization employing almost normal light scattering by the sample representing itself an optically uniaxial crystal is presented. The device is actual for the tomometric tools which are widely used in nanotechnologies and medicine. The main equations of the holoellipsometry employing normal light scattering method are obtained.