В данной работе представлены результаты подготовительных работ по постановке диагностики измерения ионной температуры методом допплеровского уширения. Экспериментально определено, что в области рабочих давлений от 10-4до 10-2 Торр наблюдаются ионные линии аргона 466,626 нм и 480,602нм. Отслежено поведение в диапазоне рабочих давлений интенсивности и полуширины данных линий в зависимости от изменения рабочих условий (давления исследуемого газа от вкладываемой мощности магнетронного генератора и от величины магнитного поля в геометрическом центре резонатора). Отмечено, что интенсивности данных линий отзываются на изменение давления и вкладываемой в разряд мощности.
This paper presents the results of preparational works on initial set up of diagnostic measurement of ion temperature by means of Doppler broadening of spectrum. It was experimentally determined that 466.626 nm and 480.602 nm were observed in the working range of pressure from 10-4 to 10-2 Torr. The dependency of intensity and half-width lines from changing working condition (pressure of investigated gas on input power of magnetron and on magnetic field in geometric center of resonator) was obtained in the working range of pressure. It was noticed intensities of this lines respond on changing of pressure and input power in discharge.