Исследование магнетронного напыления нанопокрытий на поверхность деталей из конструкционной керамики после механической обработки

Предложен и апробирован способ магнетронного напыления нанопокрытий на детали после финишной обработки, позволяющий блокировать 100 % микротрещин. Получены математические модели адгезии и толщины покрытия. Получены фотографии структуры обработанной поверхности керамики из SiO2.

Research on magnetron nano-sputtering on the surface of parts made of structural ceramics after machining

The method of magnetron deposition of nano-coatings on the components after finishing treatment enabling the arrest of 100%of cracks was proposed and tested. The mathematical models of coating adhesion and thickness were also obtained. The photos of the machined surface structure of SiO2-ceramics are taken.