Исследование датчика малых линейных перемещений на основе двух фазовых дифракционных решеток

Предложен и исследован усовершенствованный оптоэлектронный датчик малых линейных перемещений на основе дифракции лазерного пучка на двух фазовых дифракционных решетках. Показана возможность удвоения области линейности при регистрации сигналов в двух первых дифракционных порядках. На основе этого датчика сконструирован макет измерителя неровностей поверхности и проведены эксперименты по измерению профилей поверхности рельефных структур.

Investigation of small linear displacement sensor with two phase diffraction gratings

An improved optoelectronic small linear displacement sensor based on laser beam diffraction on two phase diffraction gratings is proposed and investigated. The possibility of doubling the region of linearity while detecting signals in the first two diffraction orders is shown. A device for measuring surface irregularities is designed using this sensor. Experiments on measuring surface profiles of relief structures are carried out.