Теоретическое и экспериментальное исследование резонансных механизмов взаимодействия заряженных частиц с электромагнитными и электростатическими волнами различного частотного диапазона

Проведены теоретические исследования взаимодействия электромагнитного импульса с плазмой в области электронного циклотронного резонанса и распадной неустойчивости лазерной волны при поперечном распространении в магнитоактивной плазме. Установлены закономерности в процессах самомодуляции электромагнитного импульса и резонансного возбуждения плазменных волн в режиме ЭЦР, экспериментально показана возможность создания одноступенчатого микроволнового источника многозарядных ионов (CERA-Z), разработана конструкция микроволнового источника плазмы для обработки полупроводниковых пластин диаметром до 30 см (CERA-T), показана возможность его реализации, создан микроволновый источник радиального азимутально-симметричного потока плазмы (CERA-R), разработана и проведена апробация конструкции, обеспечивающей высокоэффективную бездефектную обработку полупроводниковых структур атомарным водородом с целью модификации их электрооптических характеристик (CERA-L). Все исследуемые микроволновые источники плазмы рассчитаны для работы на частоте 2,45 ГГц, что обеспечивает их низкую себестоимость и высокую надежность в работе, а резонансные механизмы взаимодействия частиц плазмы с электромагнитными и электростатическими полями обеспечивают высокую энергетическую эффективность.