Характеристики отражения ПАВ от края подложки, измеренные методом лазерного зондирования с опорной дифракционной решеткой

Измерены отражения поверхностных акустических волн (ПАВ) от краев подложек с различными углами клина (14 значений от 55° до 90°) между поверхностью и торцом подложки а также зависимости величины модуля коэффициента отражения от частоты (в диапазоне 15.50-16.2 МГц) при различных углах клина.

Characteristics of Reflection of Surface Acoustic Waves (SAW) from the Edge of a Substrate Measured Using Laser Beam Probing Technique in Conjunction with Stationary Reference Gratings (SRG)

Reflections of Surface Acoustic Waves (SAW) from the edges with different wedge angles (14 values, from 55° to 90°) between the surfaces and the edges of the substrates and also the dependence of the values of coefficient of reflection on frequency (15.50-16.20 MHz) at different wedge angles are measured.