Определение оптимальных параметров метода дифференциального рассеяния для измерения шероховатости диэлектрических поверхностей

В статье приводятся основные результаты анализа метода дифференциального рассеяния применительно к диэлектрическим поверхностям. Цель анализа - нахождение наилучших условий для измерений функции спектральной плотности шероховатости. Указаны преимущества и недостатки различных схем реализации этого метода.

Determination of Optimum Parameters of Method of Differential Scattering for Measuring Roughness of Dielectric Surfaces

A method of differential light scattering is discussed. This technique allows to measure the spectral-density function of an optical surface. The main results of the analysis of the differential light scattering method with reference to dielectic surface are given in the report. The aim of the analysis is to obtain the best conditions for the experimental measurements and to find the boundaries of appliance of this technique.