МЕТОД ГОЛОГРАФИЧЕСКОЙ ИНТЕРФЕРОМЕТРИИ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ПОВЕРХНОСТИ ТОНКИХ ПЛЕНОК Статья Зайцев Е., Лескин С., Алиев С.А. Современные проблемы физики и технологий. Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ". 2018. 26 с.
