The probability scheme of constructing the mathematical model of shadowed sputtering

Авторы
Sevastianov L.A. 1
Журнал
Computer Physics Communications
Издательство
Elsevier Science Publishers B.V., Amsterdam
Номер выпуска
1-2
Язык
Английский
Страницы
41-46
Статус
Опубликовано
Том
130
Год
2000
Организации
  • 1 PFUR
Цитировать
ГОСТ MLA RIS BibTex
Поделиться

Другие записи