Микроэлектроника

Type
Journal
Publisher
Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН
Codes
ISSN: 0544-1269
Share

List of records

Display:
Reset

КОМПЛЕКСНОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ НЕРАВНОМЕРНОСТИ СВОЙСТВ ТОНКОПЛЕНОЧНОГО КАТОДА LICOO<SUB>2</SUB>, ИЗГОТОВЛЕННОГО МЕТОДОМ ВЧ-МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ

Article
Курбатов С.В., Рудый А.С., Наумов В.В., Мироненко А.А., Савенко О.В., Смирнова М.А., Мазалецкий Л.А., Пухов Д.Э.
Микроэлектроника. Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН. Vol. 53. 2024. P. 189-205

Page 1 of 1. Items from 1 to 1 of 1

Other record sources