Способ разделения совмещенных поверхностной и объемной электромагнитных волн терагерцового диапазона, включающий предварительное формирование на поверхности образца канавки со сглаженными краями и осью, перпендикулярной плоскости падения, пересекающей трек пучка лучей поверхностной электромагнитной волны (ПЭВ) и имеющей размер вдоль трека меньше длины распространения ПЭВ, и последующее направление совмещенных волн на канавку, отличающийся тем, что канавку формируют в виде половины правильного конуса, ось которого лежит в плоскости поверхности образца, при этом угол отклонения ПЭВ от плоскости падения, содержащей объемную волну, равен: ! ?=arcsin[tg(?)·(?-2)·?'], ! где ? - угол между образующей и осью конуса, k' - действительная часть показателя преломления ПЭВ. ! Технический результат - пространственное разделение ПЭВ и объемной волны путем изменения направления ПЭВ. 3 ил.