СПОСОБ ВЫПОЛНЕНИЯ СПЕКТРОСКОПИИ ПЕРЕХОДНОГО СЛОЯ ПРОВОДЯЩЕЙ ПОВЕРХНОСТИ

Изобретение относится к области исследований быстропротекающих процессов на поверхности металлов и полупроводников оптическими методами, а именно к мгновенному определению спектров поглощения тонких переходных слоев путем регистрации характеристик возбуждаемых на поверхности образца поверхностных плазменных поляритонов (ППП), может найти применение в спектрометрии окисных и адсорбционных слоев. Способ включает воздействие на поверхность образца сфокусированным белым светом, возбуждение этим светом на ней ППП, разложение отраженного света на спектральные составляющие, регистрацию излучения отдельных составляющих, определение оптимального угла возбуждения ППП ?o каждой составляющей, построение по результатам измерений кривой дисперсии ППП k?(?).Падающий свет выбирают плоскополяризованным с отличными от нуля р- и s-компонентами поля, кроме того, для каждой контролируемой составляющей компенсируют разность фаз между компонентами поля, возникающую при возбуждении ППП, а величину угла ?o определяют по максимальному углу наклона плоскости поляризации данной составляющей относительно плоскости падения. Техническим результатом изобретения является повышение точности измерений. 2 ил.