Изобретение относится к контролю качества поверхностей материалов оптическими методами, а именно к способу исследования поверхностей твердых тел, включающему формирование на плоской поверхности образца из поверхностно-активного материала однородного слоя связи толщиной, меньшей глубины проникновения поля поверхностных электромагнитных волн, возбуждаемых сколлимированным монохроматическим p-поляризованным излучением внешнего источника на границе слой связи - образец, в материал слоя связи, и регистрацию пространственного распределения интенсивности отраженного излучения фотоприемным устройством, при этом исследуемую поверхность образца ограничивают герметичным барьером высотой больше толщины слоя связи, однородный слой связи формируют путем нанесения на поверхность образца слоя жидкости, затем образец с сформированным на его поверхности жидким слоем связи помещают в жидкость, не растворимую в жидкости слоя связи, имеющую плотность меньше плотности жидкости слоя связи и показатель преломления больше действительной части эффективного показателя преломления поверхностных электромагнитных волн. 2 ил.