Исследование микроволнового разряда в магнитном поле как источника низкотемпературной плазмы для полупроводниковой технологии

Authors
Кампс Карвахаль Эдгар Энрике1
Academic degree
Канд. физ.-мат. наук
Speciality
01.04.03 Органическая химия
Location
Москва
Language
Russian
Page number
129
Year
1988
Organizations
  • 1 РУДН
Share

Other dissertations