Характеристики датчиков малых угловых перемещений, построенных с применением дифракционных оптических элементов

Исследованы датчики малых угловых перемещений и угловых колебаний объектов, которые построены с применением дифракционных оптических элементов (ДОЭ) двух типов: с при- менением рельефной отражательной дифракционной структуры и с применением системы из двух фазовых дифракционных решёток (ДР), расположенных на некотором расстоянии друг от друга. Приведены схемы датчиков, расчётные соотношения, результаты эксперимен- тальных исследований рабочих характеристик и оценки чувствительности датчиков. На экс- периментальных образцах датчиков чувствительность при регистрации угловых колебаний составила 10-5 радиан.