ГИСТЕРЕЗИС ПАРАМЕТРОВ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКОГО РЕЗОНАНСНОГО СВЧ-РАЗРЯДА

В работе представлены результаты изучения поведения характеристик радиационных процессов и уровня поглощаемой мощности импульсно-периодического резонансного СВЧ-разряда. Экспериментально установлено, что в узком диапазоне давлений 1^.10^-2 -1^.10^-1 Торр, значения интенсивности излучения, поглощенной мощности и освещенности при напуске газа больше, чем при значения этих величин при тех же значениях давления, но в режиме откачки. Показано, что в режиме практически полного поглощения падающей СВЧ-мощности плотность плазмы превышает значение плотности отсечки для рабочей частоты.

Hysteresis of Parameters of Pulse-Periodic Resonant Microwave Discharge

The paper presents results of a study of the behavior of radiation process characteristics and the level of absorbed power of pulse-periodic resonant microwave discharge. It has been established by experimental means, that the values of radiation intensity, absorbed power, and illuminance are more when the gas inlet than in the pumping mode in the narrow range of pressure 1^.10^-2 -1^.10^-1 Torr. It has been shown that plasma density is significantly higher than the value of appropriate cut-off density in the regime of total absorption of microwave power.